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Simulation und Herstellung Nanoelektronischer Bauelemente (2V / 4Ü)

 

Vorlesung im Wintersemester 2016 / 2017

 

Dozent: Dr.-Ing. Klaus Kallis

Tag
Uhrzeit
Ort
Beginn
Fachrichtung
Studienabschnitt
Donnerstag 10:15 - 12:00 CT-G3, Raum 3.25 27.10.2016 ET und IT Wahpflichtmodul Bachelor ETIT / Modul 23/ ETIT-035
5. Semester Studienschwerpunkt "Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik"

 

ACHTUNG :
Die Teilnehmerzahl ist begrenzt !
Anmeldungen nimmt Frau Ulrike Lippe, E-Mail: ulrike.lippe@tu-dortmund.de entgegegen.

 

Übungstermine

Betreuer: Dr.-Ing. Remigius Poloczek, M.Sc. Sven Ebschke

Tag
Uhrzeit
Ort
Beginn
Fachrichtung
Studienabschnitt
   


  ET und IT Wahpflichtmodul Bachelor ETIT / Modul 23/ ETIT-035
5. Semester Studienschwerpunkt "Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik""

 

Downloads zur Vorlesung und zu den Übungen finden Sie hier.


A k t u e l l e s


 

 

Lehrinhalte

Die Veranstaltung untergliedert sich in die Elemente

1 .Ladungsträgertransport in elektronischen Bauelementen (1V)
2. Ladungsträgertransport in elektronischen Bauelementen (2Ü)
3. Bauelementfabrikation (1V)
4. Bauelementfabrikation (2Ü)


Lehrinhalte zu Element 1. und 2. :

  • Grundlagen des elektronischen Transports im Halbleiter

  • Grundlagen Festkörperschalter

  • Elektrostatik in Feld-Effekt Transistoren

  • Erstellen (in Gruppen von 2 Studierenden) vonr TCAD-Technologiesimulationen


Lehrinhalte zu Element 3. und 4. :

  • Herstellungstechnologien, Verhalten im Reinraum etc.

  • Herstellung und Charakterisierung einfacher Grundbauelemente (Diode, MOSFET)

  • Vergleich mit Simulationen (Element 1 und 2)

Literatur

Datta: Electronic Transport in Mesoscopic Systems, Cambridge University Press, 1995
Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie, Vieweg+Teubner, 2008

 

Prüfungen

Modulprüfung: Mündliche Prüfung (max. 40 Minuten)

Studienleistungen: Erfolgreiche Teilnahme an den Elementen 2. und 4.

Die Studienleistung ist Voraussetzung für die Teilnahme an der Modulprüfung.

 

Empfohlene Kenntnisse:

Höhere Mathematik, Grundlagen der Quantenmechanik und Festkörperphysik oder
erfolgreicher Abschluss des Moduls Mikro- und Nanoelektronik