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Mikro- und Nanoelektronik

Vorlesungsbetreuung im SS 2016 :

Teil 1 : Dr.-Ing. Klaus Kallis
Teil 2 : Prof. Dr.-Ing. Horst Fiedler

Übungsbetreuung:

M.Sc. Philipp Czyba
M.Sc. Alexander Gumprich

 

Downloads zur Vorlesung und den Übungen - Teil 1

Dr.-Ing. Klaus Kallis

Vorlesung: Übungen:
Übungstermine :

Wiederholung Grundlagen

Übungsblatt 1  
1.1 Einfuehrung Übungsblatt 2  

1.2 More than More

Übungsblatt 3  
2.1 Herstellung integrierter Schaltungen - Herstellung von Reinstsilizium Übungsblatt 4  
2.2 Herstellung integrierter Schaltungen - Waferherstellung Übungsblatt 5  
2.3 Herstellung integrierter Schaltungen - Oxidation und Deposition Übungsblatt 6  
2.4 Herstellung integrierter Schaltungen - Fotolithographie    
2.5 Herstellung integrierter Schaltungen - Strukturierung    
2.6 Herstellung integrierter Schaltungen - Dotierung    
2.7 Herstellung integrierter Schaltungen - MOS und Bipolargrundprozesse    
2.8 Herstellung integrierter Schaltungen - Packaging    
3.1 Nanoskalige Bauelemente - Kurzkanaleffekte    
3.2 Nanoskalige Bauelemente - Strukturierung    
3.3 Nanoskalige Bauelemente - Materialien    
Si-crystal    


Das Passwort wird zu Beginn der Vorlesung bekannt gegeben.

 

 

Downloads zur Vorlesung und den Übungen - Teil 2

Prof. Dr.-Ing. H. Fiedler

Vorlesung: Übungen:
Übungstermine :
ME00 - Inhalt Übungsblatt 1  
ME01 - Einführung Übungsblatt 2  
ME02 - Layout von CMOS-Bauelementen LT-Spice Dateien Stromspiegel  
ME03 - Transistoren Übungsblatt 3  
ME04 - Stromspiegel und Stromquellen Übungsblatt 4  
ME05 - Verstärkerstufen Übungsblatt 5  
ME06 - Operationsverstärker    
ME07 - SC-Schaltungen    
ME08 - Filter    
ME09 - Logikschaltungen    
ME10 - Flipflops und Speicher    
Formelsammlung    


Das Passwort wird zu Beginn der Vorlesung bekannt gegeben.