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mikrosystemintegration

 

Vorlesungstermine im Sommersemester 2018

Dozent: Prof. Dr.-Ing. Horst Fiedler

 

Tag
Uhrzeit
Ort
Beginn
Studiengang
Studienabschnitt
Montag 10:15 - 11:45 Uhr ET A 3.21 09.04.2018 Master ET und IT Modul 2-21 / ETIT-240
Wahlpflichtmodul /2. Semester

 

 

Übungstermine

Tag
Uhrzeit
Ort
Beginn
Studiengang
Studienabschnitt
Montag 11:45 - 12:00 Uhr ET A 3.21   Master ET und IT Modul 2-21 / ETIT-240
Wahlpflichtmodul /2. Semester

 

 

Lehrinhalte

  • Grundlagen der MEMS-Technologie
  • Sensoren und Aktoren
  • Ausleseschaltungen und Systemintegration

 

Literatur
Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik - Konzepte und Anwendungen

 

Prüfungstermine
Die Prüfungstermine für die mündliche Prüfung werden gegen Ende der Vorlesung mit den Studierenden vereinbart.

 

Empfohlene Voraussetzungen:
Ausreichende Kentnisse in Werkstoffe der Elektrotechnik, Halbleiterbauelemente, Halbleitertechnologie und Physik.


Weitere Informationen sowie die Downloads zur Vorlesung finden Sie im Moodle-System der TU Dortmund.