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Mikro- und Nanoanalytik (2V / 1Ü)

Vorlesung im Wintersemester 2016 / 2017

 

Dozenten: Dr.-Ing. Klaus Kallis / Dr.-Ing. Remigius Poloczek / Dr.-Ing. Evelyn Drabiniok

 

 

Die Veranstaltung findet als Blockveranstaltung statt. Diese sind die Termine dazu:

 

Tag
Uhrzeit
Ort
Fachrichtung
Studienabschnitt

Montag, 27.03.2017
bis
Freitag, 31.03.2017

10:00 - 16:00 Uhr


CT-G3, Raum 3.25

ET und IT Modul 3-27 / 3. Semester, Wahlpflichtmodul im Masterstudiengang ETIT / Studienschwerpunkt "Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik"


Die Downloads zur Blockveranstaltung finden Sie hier.

 

Lehrinhalte

  • Grundlagen der Analytik
  • Analytische Verfahren
  • Wechselwirkung Elektronen-Festkörper-Oberfläche
  • Elektronenmikroskopie
  • Elektronenstrahl-Mikroanalyse
  • Elektronenbeugung
  • Photoelektronen-Spektroskopie
  • Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen
  • Massenspektroskopie
  • Rastersondermikroskopie

Literatur

Henzel, Göpel: Oberflächenphysik des Festkörperws

 

Prüfungstermine

Die Prüfungstermine für die mündliche Prüfung werden gegen Ende der Vorlesung mit den Studierenden vereinbart.