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Halbleitertechnologie

Vorlesungstermine im Sommersemester 2018

Dozent: Dr.-Ing. Klaus Kallis

Tag
Uhrzeit
Ort
Beginn
Studiengang
Studienabschnitt
Dienstag 12:15 - 13:45 Uhr ET A 3.21 10.04.2018 Master ET und IT Modul 2-20/ETIT-239
Wahlpflichtmodul /2. Semester

 

 

Übungstermine

Tag
Uhrzeit
Ort
Beginn
Studiengang
Studienabschnitt
Dienstag 14:00 - 14:45 Uhr ET A 3.21   Master ET und IT Modul 2-20/ETIT-239
Wahlpflichtmodul /2. Semester

 

 

 

Übersicht

  • Kristallziehverfahren und Herstellung von Wafern
  • Oxidationsverfahren
  • Lithographie
  • Ätzverfahren
  • Legierung und Diffusion
  • Ionenimplantation
  • CVD-Depositionsverfahren
  • Epitaxie
  • Physikalische Depositionsverfahren
  • MOS- und CMOS-Prozesse

Literatur

Hilleringmann : Silizium-Halbleitertechnologie
Schumicki / Seegebrecht : Prozeßtechnologie

 

Prüfungstermine

Die Prüfungstermine für die mündliche Prüfung werden gegen Ende der Vorlesung mit den Studierenden vereinbart.

 

Weitere Informationen sowie Downloads zur Vorlesung finden Sie im Moodle-System der TU Dortmund.