Technische Universität Dortmund
Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme
Univ.-Prof. Dr.-Ing. H. Fiedler
Emil-Figge-Str. 68
44227 Dortmund
Campus Nord
CT-G3, 3. Etage, Raum 3.21
Telefon:+49 (0)231 / 755 3203
Telefax: +49 (0)231 / 755 4450
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Arbeitsgebiet Technologien der Mikro- und Nanotechnik
Dr.-Ing. Klaus Kallis
Vertretungsprofessor
Emil-Figge-Str. 68
44227 Dortmund
Campus Nord
CT-G3, 3. Etage, Raum 3.11
Telefon: +49 (0)231 / 755 2023
Telefax: +49 (0)231 / 755 4450
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Der Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme und das Arbeitsgebiet Technologien der Mikro- und Nanotechnik bearbeiten aktuelle Aufgabenstellungen
aus den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Mikrostrukturtechnik.
Im Mittelpunkt der Arbeiten steht die CMOS-Technologie und ihre Anwendungen.
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